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射频微电子(关于射频微电子的基本详情介绍)

导读 大家好我是小蝌蚪,射频微电子,关于射频微电子的基本详情介绍很多人还不知道,那么现在让我们一起来看看吧!1、中国科学院微电子研究所射...

大家好我是小蝌蚪,射频微电子,关于射频微电子的基本详情介绍很多人还不知道,那么现在让我们一起来看看吧!

1、中国科学院微电子研究所射频电源(RFGenerator)课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)。

2、1985年研制成功。

3、获得“六五”攻关荣誉证书以及“FD-2反应离子刻蚀机与超精细刻蚀研究”项目二等奖。

本文关于射频微电子的基本详情介绍就讲解完毕,希望对大家有所帮助。

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